Auger-Elektroane-Spektroskopy (AES)

Ut Wikipedy
Gean nei: navigaasje, sykje
Skematyske werjefte fan it Auger-effekt
Auger-spektrum fan koper-nitride lagen yn ôflate foarm

Auger-Elektrone-Spektroskopie (AES) is in analysemetoade fan oerflakken mei help fan Auger-Elektroanen.

As men yn fakúm in materiaalmeunster bestrielet mei (primêre) elektroanen mei in enerzjy fan sa'n 1 oant 10 keV, dan stjoert it materiaal sels wer elektroanen út. De sekondêre elektroanen hawwe alle grutten fan enerzjy, mar dêrtusken falle guon skerpe piken op, de saneamde Auger-elektroanen. De Auger-elektroanen hawwe in enerzjy, dy't beskaat wurdt fan de eleminten yn it materiaal fan it meunster.

Rjochts is it effekt sketst foar n [molekule] mei twa banen. Sokke banen hawwe in foar elk element karakterike energy. As no de molekule fan in primêr elektron troffen wurdt, dan kin ien fan de beide binnenste elektroanen in hegere energy krije en dêrtroch yn in hegere baan brocht wurde. Nei in beskate tiid fâlt dat dan yn syn âlde baan werom (oanjûn mei in pylk en in leech blau plak), wêrby't dan in energy frijkomt krekt gelyk oan dat ûnderskied yn energy fan dy beide banen. Dy energy wurdt dan meidield (pylk mei krol) oan wer in oar elektron, dat dan as Auger-elektron útstjoerd wurdt en ek in leech plak efterlit.


Auger-gegevens komme gewoanlik beskikber as spektra yn ôflate (differinsjearre) foarm. Dat is rjochts werjûn foar koper-nitride. Dat levert in dúdlike pyk op foar stikstof (N) op 400 eV. Koper hat folle mear elektroanen yn folle mear banen en jout dus folle mear piken, nammentlik by 920eV (mäd two Litjere) en by 70 eV.

Auger-elektroanen út djippere lagen ferlieze har karakteristike enerzjy troch botsen tsjin heger lizzende atomen. De analysearbere elektroanen komme dêrom allegear út de boppeste 0,5 oant 3 nanometer, dus 2 oant 10 atoomlagen. Dêrom is AES foaral in oerflakte-technyk. Troch sputter-etsen yn fakúm kinne lykwols lagen fuorthelle wurde, dat dan kin me djipper mmjitte. Sa kin men hele djipte-profilen krije.

Wannear de metoade tapast wurdt yn in [Raster-Elektroane-Mikroskoop], dan kinne ek bylden fan de fersprieding fan beskate eleminten yn in meunster makke wurde. By 10 keV primêre enerzjy en in lytse stream is de straal sa fyn, dat men dêrby in oplossend fermogen fan o,3 /um berikke kin. De grutste gefoeligens fan 0,1 à 1 atoompersint krijt men by gruttere stream en it gehalte oan in beskaat elemint kin binnen in faktor twa krekt metten wurde. Dêrmei is AES folle betrouberder as Sekondêre-Ioane-Massa-Spektroskopy (SIMS), mar wol folle minder gefoelich.

Keppeling om utens[bewurkje seksje | edit source]